Singulus: Neuer Auftrag für Beschichtungssystem TIMARIS

Mitteilung der Singulus Technologies AG:

SINGULUS TECHNOLOGIES erhält Auftrag für ein modulares TIMARIS Beschichtungssystem zur Fertigung magnetischer Sensoren

Die SINGULUS TECHNOLOGIES AG gibt den erfolgreichen Auftragseingang für ein TIMARIS-System für einen wichtigen Halbleiterkunden bekannt. Die modulare Anlage besteht aus im Markt bewährten komplexen Prozessmodulen sowie einem Wafer-Handling-System, das im Vakuum arbeitet. Damit werden unterschiedliche ferromagnetische und antiferromagnetische Materialien abgeschieden, was ein wesentlicher Schritt der Herstellung magnetischer Sensoren ist. Das Auftragsvolumen liegt im mittleren einstelligen Euro-Millionenbereich.

Ein wesentlicher Vorteil des TIMARIS Systems von SINGULUS TECHNOLOIGIES ist die Möglichkeit hochpräzise Schichtstapel mit vielen sehr dünnen Schichten aufzubringen, ohne das Ultrahochvakuum unterbrechen zu müssen – dadurch werden die hohe Reinheit der einzelnen Schichten und die gute Produktivität in der Serienproduktion sichergestellt. Zusätzlich stehen Optionen für Hochtemperaturabscheidungen sowie zur exakten magnetischen Ausrichtung der Orientierung magnetischer Schichten zur Verfügung. Die TIMARIS Plattform von SINGULUS TECHNOLOGIES hat sich bewährt als ein Werkzeug zur Abscheidung höchster Materialhomogenität über große Wafer-Flächen. Die präzise Kontrolle dieser ultradünnen Schichtdicken gelingt sogar bis in Sub-Ångström Dimensionen, also für funktionale Schichten von nur einem hundertstel Nanometer.

Das TIMARIS-System stellt eine hochflexible Plattform für anspruchsvolle Beschichtungsprozesse in der Dünnschichttechnologie dar. Durch den modularen Aufbau eignet es sich besonders für Anwendungen in der Sensorik, bei denen höchste Präzision, Reproduzierbarkeit und Materialreinheit gefragt sind.

Mit diesem Projekt unterstreicht SINGULUS TECHNOLOGIES erneut seine technologische Führungsrolle in der Entwicklung und Lieferung innovativer Fertigungslösungen für die Halbleiterindustrie und angrenzende Hightech-Märkte.

Singulus Technologies AG

Foto: Singulus Technologies AG (Symbolbild)

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